應用範圍
· 主要用於超大規模集成電（diàn）路的前端加工；
· 除矽片表麵有機物（wù）、金屬沾汙帶的清洗（xǐ）；

產品特點
· 超純雙氧水為清洗劑、蝕刻劑的重要組分（fèn），可與硫（liú）酸（suān）、硝酸、氫氟酸、氨水等配製使用。